진공(감압)상태에서의 건조는 일반 대기상태에서의 건조보다도 사용적용 범위가 점차 증가되고 있는 추세이며 환경또한 Clean Room 등 Partical이 없는 작업환경에서의 공정진행의 필요가 상승되고 있는 추세입니다.
반도체 관련 산업은 물론 기타 산업전반에 걸쳐 Clean 환경에서의 진공건조의 필요성이 증가되고 있는 상황에서 본 Vaccum Dry Oven은 Clean Room 내에 설치 사용이 가능하도록 설계 제작된 장비입니다.

Programmable Controller (Option)
Temp & Time Program 에 의해 한번의 Setting 으로 다양한 실험 조건 구성은 물론 진공상태에서의 건조에서 사용자의 작업온도에 적합한 온도 Program 설정이 가능합니다.

Full Automatic Vaccum Process (Option)
Digital Vaccum Controller 및 Air, Electrocin Valve 등이 장착된 Vaccum Control Part는 Heating중 원하는 진공도의 유지에 사용자의 편의 및 공정의 진행속도를 증가시켰습니다.

Paid MicroProcess Control System
PID 방식에서 과적분 방지회로를 추가시켜 정밀한 온도 및 습도의 조절이 가능합니다.

View Window
열처리 투시창을 이용하여 Chamber 내 공정 진행 및 실험상황의 관찰을 가능하도록 하였습니다.

Auto Selftesting & 정전시 자동복귀 기능
자가진단기능 및 정전시 자동복귀 기능을 갖추고 있어 공정진행 및 실험 중 내외부의 이상상황에서의 사용자의 편리를 도모하였습니다.

Compact Design
진공건조기 설비 내에 Vaccum Pump 및 Cold Trap Bath 등을 설치하여 다른 부대시설의 설치없이 Clean Room 에 설치할 수 있도록 제작하였습니다.

Power Full Vaccum Pump
200~800 l/min 의 배기능력을 지닌 강력한 진공펌프는 10-2의 진공도까지 빠른 시간내에 도달이 가능합니다.

 

Model

SH-VDO30CLR1

SH-VDO70CLR1

SH-VDO150CLR1

SH-VDO30CLR2

SH-VDO70CLR2

SH-VDO150CLR2

Temp range

Ambient +5℃ to 250℃

Time range

00.00 to 99HR 59MIN (min sec) Selectable Digital Counter

Vacuum restance

1×10-4 / 10-6 torr (760 ㎜HG)

상용 Vacuum range

5×10-2 to 1×10-2 torr

1×10-3∼(option)

Temp&Time controller

Microprocess Digital PAID Membrain Touch Controller

accuracv & stability

±0.1℃

Temp uniformity

±1.0℃

Heater Capa

2000W

3000W

5500W

Dimension Internal

External (㎜)

300×350×300

400×450×400

500×600×500

540×480×740

640×580×840

740×730×1800

Capa

32L

72L

150L

Material Internal

External

Stainless Steel SUS304

Steel Plate SS41 with Powder Heating Coated

Packing

Silicon Rubber Packing

View Window

Tempered Glass

Power

220V 단상

 

 

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